eds检测样品表面的深度,eds能定义物质么

eds测试元素范围 2023-09-29 20:31 220 墨鱼

eds测试元素范围

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eds测试光斑大小与深度SEMEDS组合是应用非常广泛的微束分析仪器之一，估计全国已超过3500台该类组合。“扫描电镜”是通过电子束扫描样品表面产生放大图像的一-种仪器。1965能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析，两者区别是

2微米左右，取决于观测条件。可以控制到纳米单位，根据样品实际情况，以下分析方法可供选用。仪器名称信号检测元素测定检测限深度分辨率适用范围扫描电子显微镜(SEM) 二次及背向散射电子&X射线B-U (EDS mode) 0.1 - 1 at% 0

EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析，两者区别是

EDS检测原理光子能量检测过程X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子EDS测量样品深度可以到1微米以上。要注意你用的样品的形态，如果是纳米粒子的话，很容易混入底板的EDS

EDS Mapping得到的结果是(1)测量表面的元素分布的信息；2)距表面一定um距离的那一层下表层的元素分布信息；3)距表面一定um距离的那一层下表层直至样品表面，这EDS能谱测试对样品的要求：样品大小受真空室限制，一般不能大于3厘米x3厘米x3厘米。极限：检测极限，0.01%,只能做半定量分析，精度一般在1%到5%,深度一般为1微米，束斑大小取决于电子束，

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