mems陀螺仪原理,微机械陀螺仪工作原理

射频MEMS 2023-09-26 23:08 826 墨鱼

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mems陀螺仪原理,微机械陀螺仪工作原理

MEMS陀螺仪的工作原理是：它利用硅芯片上的微机电系统即MEMS结构来测量恒定的重力加速度，并在转轴上检测转动惯性。当受到重力加速度影响时，芯片上的结构会产生位移。通过对这与传统的利用角动量守恒原理的陀螺仪相比，MEMS陀螺仪使用了不同的工作原理。传统的陀螺仪是一个不停转动的物体，

MEMS陀螺的基本原理是利用科里奥利力进行能量的传递，将谐振器的一种振动模式激励到另一种振动模式，后一种振动模式的振幅与输入角速度的大小成正比，通过测量振幅实现对角速度的测量MEMS陀螺仪传感器的原理首先了解一下MEMS加速度计的原理，简图如下图所示，其中质量块mass被弹簧springs支撑，使得其只能沿着预定方向位移，从而检测特定方向的加速度；绿的部分是固定的

陀螺仪是利用高速回转体的动量矩敏感壳体相对惯性空间绕正交于自转轴的一个或二个轴的角运动检测装置。利用其他原理制成的角运动检测装置起同样功能的也称陀螺仪。陀螺仪可感测一本文以最清晰明了的方式，收集了大量动图、图片，直观阐述主流MEMS传感器的工作原理！包括：什么是MEMS?MEMS传感器基本构成一、MEMS声学传感器二、MEMS压力传感器三、MEMS加速度传

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标签：微机械陀螺仪工作原理