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激光直写曝光,直写式曝光机光源论文

无掩模直写式光刻设备 2023-12-30 17:19 105 墨鱼
无掩模直写式光刻设备

激光直写曝光,直写式曝光机光源论文

激光直写光刻(laser direct write lithography,LDWL)作为一种无掩模光刻技术,是利用强度可变的激光束对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光,显影后在抗蚀层表面形成所要求的图形。DNK MX系列全自动激光直写光刻机全自动上海炜泰贸易有限公司1年查看详情¥2.00万江苏苏州名一平行光曝光机网板晒版机厂家销售全自动名一品牌苏州名一印刷器材有限公

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