哈工大euv光源300w,哈工大攻克EUV核心技术

中国euv光源 2023-08-29 11:28 648 墨鱼

中国euv光源

哈工大euv光源300w,哈工大攻克EUV核心技术

欧洲人曾自负的说道“即便把制造EUV光刻机的图纸交给我们，以我们的技术也无法生产出光刻机”。哈工大成功击碎极紫外光源壁垒，在长春实验室成功搭建出一套完整的光源设备，迅速打脸欧放电激发等离子体EUV极紫外光源荷兰ASML光刻机公司，哈工大研究的都是这一种。DPP EUV光源利用放电使负载(Xe或Sn)形成等离子体，辐射出紫外线，利用多层膜反射镜

≥▂≤ 放电激发等离子体EUV极紫外光源荷兰ASML光刻机公司，哈工大研究的都是这一种。DPP EUV光源利用放电使负载(Xe或Sn)形成等离子体，辐射出紫外线，利用多层膜反射镜这种方式需要使用高能激光束击打微小的锡球，产生高温高压的锡等离子体，从中放出EUV光线。这种方式虽然能达到较高的功率和稳定性，但也有很多缺点，比如锡球消耗大、锡污染严重、成

中国EUV光刻机能不能突破，就看长春国科精密给不给力了，那时长春光机所唯一的上市平台，奥普光电，也将水涨船高。EUV的难点：(1) DUV波长193纳米，EUV光源的波长为13.5纳米，波长越短，所能实现的分辨方式最为激进的SSMB-EUV路线，由清华大学主导已经在雄安选址开工建设1千瓦级SSMB-EUV光源，此项目投资

≥▽≤ 不仅如此，哈工大在十几年前，2008年就已经完成了基于毛细管放电的3束等离子体EUV光源的概念设计。这篇论文发表在当年的《中国激光》上。2008年，哈工大博士生张兴强发表论文，讲述了1、一种是DPP-EUV极紫外光源。放电激发等离子体EUV极紫外光源荷兰ASML光刻机公司，哈工大研究的都是这一种。DPP EUV光源利用放电使负载(Xe或Sn)形成等离子体，辐射出紫外线，利用多层膜反射镜多次反

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