目前应用最多的是甲硅烷,一般把甲硅烷简称做硅烷。作为一种提供硅组分的气体源,硅烷因其纯度高、能够实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体,并且是世界上唯...
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