硅烷气相沉积硅,硅烷工艺特点

硅烷气相沉积硅,硅烷工艺特点

MEMCTXSiemens标准工艺：Si+3HClSiHClSi+2SiHClClHCl3HClHemlock改良Siemens法：SiSiHClClSiCl+HSi+3HCl2SiHCl+SiHClSi+2HClUnionCarbide(ASiMI)甲硅烷工艺：SiCl4硅烷是一种无色、和空气反应会引起窒息的气体。这种气体通常和空气接触会引起燃烧并且放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。二氧化硅烟雾对健康的首要危害是其自燃

≥＾≤ 硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程研究.pdf,硅烷化学气相沉积制备多晶硅过程的研究——流化床反应器的模拟与空管反应器的实验报告人：刘思思博士生E-mail: s板块介绍颗粒硅，是硅烷法生产出来的颗粒状多晶硅。多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流

单硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅等多种金属硅化物，因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要电子特石墨管状反应器及空腔反应器，国外的流化床反应器REC已有成套的生产装置[8],而研究开发新的生产工艺则是另一个研究的热点，如：直接从冶金级硅提取高纯硅的冶金法

＋△＋ 第一方面，本发明提供了一种制备多晶碳化硅的化学气相沉积方法，其包括以下步骤：将石墨件置于化学气相沉积室中，抽真空，再升温，之后保温，通入载气至压力稳定，再通生产微芯片晶圆所用的超纯硅是硅烷前驱体在热壁反应器中进行化学气相沉积而制成的。在Equilib模块中调用SCVDBase数据库文件进行以下计算。在Equilib模块的Reactants反应物窗口中输