硅烷合成工艺,硅烷是气体还是液体

硅烷法的工艺流程图 2023-04-01 09:44 914 墨鱼

硅烷法的工艺流程图

硅烷合成工艺,硅烷是气体还是液体

例如，使用硅金属(a)时，可以直接使用由硅或高硅铸铁(Ferrosilicium)压碎的粉尘、氯硅烷合成或甲基氯硅烷合成(亦可部分地含有铜/铜化合物及锌/锌化合物等催化剂成分)所制得的含硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体，用于各种微电子薄膜制备，包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还

∩＾∩ 在高纯硅的制备方法中，有发展前途的是硅烷热分解法。这种方法的整个工艺流程可分为三个部分：SiH4的合成、提纯和热分解。1)硅烷的合成硅化镁热分解生成硅烷该工艺的生产过程包括硅化镁的合成、硅烷合成、分子筛吸附、氨气尾气吸收等；反应原料主要为硅粉、镁粉和氯化铵、氨水等，这些原料市场供应充足，价格也相对低廉，同时，该工艺操

∪＾∪ 多晶硅之硅烷制造工艺路线反应式：M92Si+4NI-hCI--"2MgCl2+SiH4+补m3 采用硅化镁与氯化铵反应制备硅烷可以在四种不同的条件下进行。乱反应以液氨为介质。在常压、33的条件下进行，合成

后台-插件-广告管理-内容页尾部广告（手机）

标签：硅烷是气体还是液体